扫描电子显微镜
 
JP2016005865  2016-1-15  发明申请

2016-8-4
 
  所要解决的问题 : 表面的高通量分析的样品。方案是 : 其形态,和电子枪,并照射部分,探测器。所述探测器,为1第二,MCP,和阳极,包括倍增极。倍增极,MCP输出更高的电位设定为比表面,阳极,设置在比它电位高的倍增极。阳极以及MCP的倍增极倍增极的输出面从中间位置。此外,阳极,MCP由电子倍增极的输出被选择的图样表面具有一开口,以通过T形 : 图。2
 
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