| 带电粒子束装置和扫描电子显微镜 |
| WOJP15084072 2015-12-3 发明申请 |
| 2016-8-4 |
| 本发明提供一种带电粒子束装置，其以简单的结构可用作检测单元，用于检测从样品发射的电子信号。带电粒子束装置具有 : 一个带电粒子源(11)；一种加速电源(14)，其连接到所述带电粒子源(11)，并提供了以加速带电粒子束(12)发射的带电粒子源(11)；和物镜(26)，其将带电粒子束(12)上的样品(23)。物镜(26)设置在样品(23)侧相反的一侧上的所述带电粒子束(12)的入射表面。带电粒子束装置由以下部件构成 : 上装置将带电粒子束(12)向样品(23)；下样品(23)保持装置，其上；以及检测器(20)，检测信号发射电子(21)从所述样品(23)作为带电粒子束(12)的结果。装置上设有孔(18)。所述带电粒子束(12)，穿过上部装置内部，最后从孔(18)。检测器(20)设置的空间中不包括上部装置和下部装置。 |
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