| 带电粒子束装置和扫描电子显微镜 |
| WOJP15084073 2015-12-3 发明申请 |
| 2016-8-4 |
| [问题]为了获得改善的性能的带电粒子束装置。[解决手段]本发明提供一种带电粒子束装置具有 : 一个带电粒子源(11)；一种加速电源(14)，其连接到所述带电粒子源(11)，并提供了以加速带电粒子束(12)发射的带电粒子源(11)；和物镜(26)，其将带电粒子束(12)上的样品(23)。物镜(26)设置在样品(23)侧相反的一侧上的所述带电粒子束(12)的入射表面。磁极构成的物镜(26)包括 : 中央磁极(26)，其具有中心轴线的对应的理想光轴带电粒子束(12)；B上磁极(26)；圆柱形侧表面的磁柱(26)；和盘状的下磁极(26)。所述中心磁极上部(26)，所述上部为靠近所述样品(23)侧，具有形状与上部的直径方向上减小。中心磁极的下部(26)为圆柱形。所述上磁极(26)的中心具有一构成圆环形的开口，具有圆盘状，其中一侧靠近所述中心磁极的重心变薄，由宽渐窄向中心。 |
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