| 带电粒子束装置和扫描电子显微镜 |
| WOJP15084074 2015-12-3 发明申请 |
| 2016-8-4 |
| [问题]为了获得改善的性能的带电粒子束装置。[解决手段]本发明提供一种带电粒子束装置具有 : 一个带电粒子源(11)；一种加速电源(14)，其连接到所述带电粒子源(11)，并提供了以加速带电粒子束(12)发射的带电粒子源(11)；以及物镜，所述带电粒子束(12)聚焦在样品(23)。该物镜包括 : 第第一物镜(18)设置在样品(23)在其上侧带电粒子束(12)上；第第二物镜(26)设置在样品(23)侧相反的一侧上的所述带电粒子束(12)的入射表面。该装置设有 : 它是由功能，用于独立地控制所述第第一和第第二物镜(18，26)；用于同时控制所述多个波长的函数；一种功能仅使用第一物镜(18)带电粒子束(12)聚焦在样品上；一种功能仅使用第二物镜(26)聚焦带电粒子束(12)上的样品(23)；和功能同时使用第一物镜(18)和第第二物镜(26)带电粒子束(12)聚焦在样品上，同时能够使带电粒子束的孔径角与(12)入射到样品(23)通过第第一物镜(18)进行调整。 |
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