| 一种射频原子力显微镜扫描探针 |
| CN201620157520.8 2016-3-1 实用新型 |
| 2016-8-3 |
| 本实用新型公开了一种射频原子力显微镜扫描探针。该探针包括探针躯干(1)、探针悬臂梁(2)、探针针尖(3)和探针躯干上的射频传输线(4)。利用该射频原子力显微镜扫描探针对样品进行形貌扫描时，由于射频电路对电抗(容抗和感抗)极其敏感，样品表面形貌的变化将引起容抗的变化，导致射频谐振信号发生偏移。利用射频电路的高速特性，通过该射频谐振信号作为反馈，解决原子力显微镜系统扫描速度较慢的问题，实现高速扫描成像的功能。 |
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