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粒子束显微镜的生成素材数据和操作该显微镜的方法

EP13004418 2013-9-11 检索报告

2016-8-3

操作粒子束显微镜的方法中，越过扫描粒子束扫描物体的表面区域。粒子检测的检测系统，用以在多个扫描区域内撞击所述主光束的位置。检测器系统产生检测器信号表示每个被检测的粒子上的照射位置的强度。材料的交互数据区时间序列，计算取决于探测器信号，并根据地形图数据，代表物体表面形貌的扫描区域。为此，所述粒子束显微镜包括计算系统，被配置为计算振动数据。