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扫描电子显微镜
US15000305 2016-1-19 发明申请
2016-7-28
本发明的一个实施例涉及能够以高通量对样品进行表面分析的SEM。 SEM具有电子枪、辐照单元和检测器。 作为第一结构的检测器包括MCP、阳极和倍增管。 将DYNODE设定为比MCP的输出面的电位高的电位,将阳极设定为比DYNODE的电位高的电位。 阳极相对于MCP的输出面和Dynode之间的中间位置设置在Dynode侧。 阳极有一个孔,用于让电子从MCP的输出面朝向倍增管通过。
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