| 样品保持器，用于在两个光光学显微镜和带电粒子显微镜 |
| WONL16050022 2016-1-12 发明申请 |
| 2016-7-21 |
| 本发明涉及一种样品保持器，用于保持样品，或样品设置在所述样品架，用于检查所述样品与均光光学显微镜和带电粒子显微镜，样品架包括 : 基板(51)具有第一侧，其设置有导电层(53)，其中所述基材和所述导电层至少基本上光学透明的。还设有样品第一侧的基板，特别是在所述导电层的一侧面向远离衬底。导电层和样品之间的间隔层(60)的预定厚度，且设置。所述间隔层基本上是电绝缘的，并且至少基本上光学透明的。 |
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