| 一种压电单晶片式马达制作的扫描探针显微镜镜体 |
| CN201610155908.9 2016-3-18 发明申请 |
| 2016-7-20 |
| 本发明公开了一种压电单晶片式马达制作的扫描探针显微镜镜体，压电单晶片式惯性压电马达和压电扫描器固定于底座上并且该压电扫描器的振动平面与压电单晶片式惯性压电马达的行走方向垂直，压电片和非压电材料支撑体设置于基座和导轨之间，压电片的一端通过胶体垂直固定于基座上，压电片的另一端通过胶体固定有导轨，该压电片为厚度方向或径向极化的压电片，导轨的凹槽方向与压电片的极化方向一致，滑动质量块滑配于导轨上，探针和样品分别固定于压电扫描器和滑动质量块上或者探针和样品分别固定于滑动质量块和压电扫描器上，该探针的针尖指向样品。本发明成本很低、性能优良、结构简单且多样、制作工艺简便、安全性高且可在低压情况下使用。 |
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