| 一种全温区热电两场扫描电镜原位物性测量台 |
| CN201610247974.9 2016-4-20 发明申请 |
| 2016-7-20 |
| 本发明公开了一种全温区热电两场扫描电镜原位物性测量台，包括：样品、样品压片、导热台、测温元件、加热元件、样品台盖子、冷却台顶、冷却管、冷却台底、绝热台顶、绝热柱、绝热台底、扫描电子显微镜连接柱、功能扩展孔、冷却管孔、导线孔、真空法兰模块、冷却控制模块、PID温控及电学测试模块。本发明可以进行样品材料热电性能研究，实现力学、电学和热学多物理场调控下的原位性能研究；实现快速制冷降温；充分利用样品台结构降低导热效果；防止了放电现象和加热过程中图像热干扰而出现层状条纹，使用同轴环状加热模块且采用导热性能良好的紫铜作样品导热台，测温元件处于加热模块和样品之间，实现准确的温度检测。 |
微信公众号