产业专利数据
 
原子力显微镜扫描方法
 
TW104100807  2015-1-9  发明申请
2016-7-16
 
  本发明提供一种原子力显微镜扫描方法，适用於一具有双探针之原子力显微镜，包括：将该些探针进行对位；分别调整该些探针的一倾角适於扫描一试片；分别以一探针扫描该试片以取得一笔扫描资料；及合并该两笔扫描资料，以获得该试片上的表面微结构形状或微特性
 
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