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产业专利数据

扫描探针显微镜头设计

US15047560 2016-2-18 发明申请

2016-7-14

SPM头包括探头和悬臂，探头安装在悬臂上。悬臂具有靠近悬臂的自由端的平面反射表面。悬臂从机械支座延伸，单模光纤由机械支座支撑以提供光束。安装微镜以将光束基本上90°反射到平面反射表面。