扫描探针显微镜结合有一物体的表面改性的装置
 
WOKZ15000010  2015-7-10  发明申请

2016-7-14
 
  本发明涉及一种纳米切后的对象监控装置和用于检测宏的结构和低温条件下微载体。本发显微镜包括冲头具有切割边缘,带动其沿两个轴的驱动冲头,平面中的可转动的平台,一种压电扫描器可沿着三个轴线记录样品图像,与载体保持架的在研究中,和探针单元,其中探头被紧固。压电扫描器固定到平台,所述冲头设置,从而能够与样品相互作用研究,和探针单元安装在平台上,以可沿一个轴线。此外,所述组件另外包括模块,用于机械作用在冲头的切削刃以修改切割表面,其中,上述机械动作模块紧固到同一个平台,所述压电扫描器,所述的载体对象(U)和探针单元紧固。本发明使得可以以增加图像的质量的样品在研究中。
 
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