| 3D显微镜和测量图案化衬底方法 |
| US13172686 2011-6-29 发明授权 |
| 2016-7-12 |
| 一种用于图案化衬底测量的三维(3D)显微镜可包括物镜、反射照明器、透射照明器、聚焦调节装置、光学传感器和处理器。 该调焦调整装置可在多个Z步自动调整物镜焦距。 光学传感器能够在这些z步骤中的每一个获取图像。 处理器可以控制反射式照明器、透射式照明器、聚焦调节装置和光学传感器。 处理器可经配置以在多个Z步骤处捕获第一图像及第二图像，其中具有图案的第一图像使用反射照明器且不具有图案的第二图像使用反射照明器及透射照明器中的一者。 |
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