| 一种利用扫描电镜检测缺陷的方法及装置 |
| US13520210 2010-12-22 发明授权 |
| 2016-7-12 |
| 在使用复查SEM执行电路图案的编程点检查时，即使当要检查的电路图案的变化较大时，也可以在抑制错误报告的生成的同时执行稳定的检查。 将通过使用复查SEM顺序成像预定电路图案而获得的SEM图像存储到存储单元中。 从存储的SEM图像中选择满足设置条件的图像，并求平均值以创建平均图像(GP图像)。 通过使用该gp图像执行通过gp比较的图案检查，即使当电路图案的变化大时，也能够在抑制错误报告的生成的同时执行检查。 |
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