| 电子检测装置和扫描电子显微镜 |
| JP2015001343 2015-1-7 发明申请 |
| 2016-7-11 |
| 要解决的问题 : 电子检测装置的S/N检测信号被获得。溶液 : 检测表面(接收表面)的次级电子的S，初级电子束的光轴的光轴O和O的周围平行地形成，和圆形内表面S的检测装置30设置。在装置30的外部，检测表面S和所述屏蔽部分的内表面(21)设置在环形圈，在其外侧的闪烁器(22)设置在环形圈，从样品发射的二次电子的闪烁器(22)将光，发出的光从闪烁器22是作为检测信号。选择的绘图 : 图。2 |
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