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激光光斑头部限制移动范围及具有该限制移动范围的原子力显微镜

US14757519 2015-12-23 发明申请

2016-6-30

根据本公开的示例性实施例的头是通过使用在悬臂的表面上反射的激光束来测量悬臂的弯曲以便通过使用悬臂的尖端来获取样品表面上的信息的头。光斑移动装置，被配置为移动激光光斑，以便将激光光斑定位在悬臂的表面上；以及移动限制装置，被配置为将由光斑移动装置移动的激光光斑的移动范围限制在预定范围内。