| 头一体化原子力显微镜和包括该复合显微镜 |
| WOKR15014143 2015-12-23 发明申请 |
| 2016-6-30 |
| 本发明的目的是提供一体的头用于原子力显微镜(AFM)具有最小化重量和体积通过优化和改进的结构完整性的AFM头结构。另一目的，本发明是提供一种具有上述头集成AFM的集成磁头安装其上，且具有改进的动态特性，所以高速头扫描成为可能和原子力显微镜可用于广域样本成像。本发明的进一步的目的是提供一种复合显微镜，由头集成AFM，复合显微镜的上述头的组合-集成的AFM具有改进的动态特性和电子显微镜或光学显微镜，从而能够高速位置跟踪和成像以及详细观察的3D形状的在原子水平上的感兴趣区域。 |
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