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用于在扫描探针显微镜中固定探针致动器

US14800455 2015-7-15 发明授权

2016-6-21

本发明公开了用于扫描探针显微镜中的探针交换器的各种致动器。所述探针交换致动器被设计成不对连接到所述探针被传送到的高分辨率压电定位机构的探针夹具施加净力。因此，这些致动器不会对精密的高分辨率压电定位机构施加净力，从而有助于保护其在探针交换过程中免受物理损坏。