| 显微镜系统 |
| JP2014246950 2014-12-5 发明申请 |
| 2016-6-20 |
| 要解决的问题 : 分路器改为正确的激光束的光轴。溶液 : 和激光光源1，和多个激光显微镜3a，3b，激光从激光光源1，每个激光显微镜3a，3b和光分配部分5，该光分配部分5，分布率供给目的地的激光分束器7a，7b，具有多个7C的开关，激光显微镜3a，3B是，激光显微镜3a，(3B)的光轴的激光束的光轴上激光束检测所述的入射位置的基础psd43a，43b和，psd43a，43b的激光束入射到aom23和可调节的量，和光轴的偏差的校正激光束的光轴偏差的纠偏机构33和，通过激光束入射aom23AMT。psd43a被限制在预定的范围内，其检测到的光轴(4a)基于3b的光轴的未对准校正偏差机构33包括显微镜系统100pc27和控制。选择的绘图 : 图。1 |
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