产业专利数据
 
扫描电子显微镜
 
JP2014243848  2014-12-2  发明申请
2016-6-20
 
  要解决的问题 : 主和溅射离子泵，真空装置，即使通过溅射离子泵的小型化和达到预定的排放速度和真空度的真空装置设置保持扫描电子显微镜。溶液 : 电子光学系统(10)在真空装置11和，溅射离子泵47和组合的吸气剂泵48和，在降低尺寸的溅射离子泵47到达排气速度程度的降低真空或补充剂通过消气剂泵48。选择的绘图 : 图。4
 
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