| 扫描电子显微镜 |
| JP2014248037 2014-12-8 发明申请 |
| 2016-6-20 |
| 要解决的问题 : 样品放置在X轴方向，所述轴向Y，和Z轴方向中的运动级，特别是其Z轴方向的Z轴升降的活动底座级驱动机构的简化，升降操作通过致动器的小输出。溶液 : Z轴活动底座52通过导杆53，3活动在高度方向，导向杆53的外周上缠绕的可移动基座52通过压缩线圈弹簧54以接收重量，重量的可移动基座52和弹性回复力的压缩螺旋弹簧(54)，相互偏移，小输出的超声电机58通过升降移动底座Z轴52的作用。选择的绘图 : 图。5 |
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