产业专利数据
 
扫描电子显微镜
 
JP2014248038  2014-12-8  发明申请
2016-6-20
 
  要解决的问题 : 汇聚透镜，省去了聚光透镜，在轴向方向的尺寸的电子-光学系统的紧凑缩短扫描电子显微镜。溶液 : 电子枪，改变电流密度gunscanner透镜46，该枪上的透镜46的外周部的出口侧的电子束被去除，电子束设有调节孔58的大小，通过孔58穿过物镜，电子束照射在样品台。选择的绘图 : 图。4
 
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