扫描电子显微镜
 
JP2014248039  2014-12-8  发明申请

2016-6-20
 
  要解决的问题 : 电子枪被容纳在高度方向的部分的真空室和缩短,和高电压电源电路通过使用用于连接的电缆的电子枪和避免错误接线连接,以提供扫描电子显微镜。溶液 : 真空室(41)用于打开和关闭上开口的盖板43和一个普通继电器板,触点48设置在盖板(43)一侧,从而内部的真空室41,在该电子枪44安装在上部所述销轴安装,和盖板43封闭,触点48,用于弹性容纳销的,使两者电连接。选择的绘图 : 图。3
 
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