| 扫描电子显微镜 |
| JP2014248040 2014-12-8 发明申请 |
| 2016-6-20 |
| 要解决的问题 : 相对于样品在样品表面得到的图像的扫描电子显微镜，扫描装置包括一个一级X轴，Y轴，Z轴台，θ轴和普通控制器和驱动的阶段可以由驾驶员实现，以简化系统。溶液 : 样品的相对移动是相对于电子束扫描的X轴台45，Y轴台46等用于驱动超声电机控制中，利用cpu60控制各轴驱动器61的所有控制超声波电机。在这种情况下，所述驱动器61和各自的轴线之间的超声波电机上设置有选择开关62，从cpu60切换命令切换开关62。选择的绘图 : 图。4 |
微信公众号