| 扫描电子显微镜 |
| JP2014248041 2014-12-8 发明申请 |
| 2016-6-20 |
| 要解决的问题 : 设置在真空室，电子束对样品进行相对移动，在扫描阶段15，特别是，简化了机构和机构。溶液 : 阶段15是设置在真空室(14)，X轴台42，Y轴台43，Z轴台44，θ轴台45上设置，分别对应于各轴的阶段X轴超声波电机54，Y轴超声波电机56，Z轴超声波电机62，θ超声波电动机轴68是设计成可驱动的直接驱动，每个超声电机的轴54，56，62，68，在活动板的运动方向对应输出，输出直接传递到活动板。选择的绘图 : 图。3 |
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