该定位单元用于原子力显微镜的光束
 
JP2016500155  2014-3-31  发明申请

2016-6-20
 
  本发明,光学成像和测量探头的振动或弯曲的用于照明的物体如AFM和一些特定使用的特性,探头光热成像时激发,在样品产生的光热成像时,探头光热成像时净化,和,在样品photocheminally,电灯,和光热成像时,诱导的光束和另其不改变只在传统的方法使用的,在顺序,一个或多个不同波长的光束e115为2,原子力显微镜或科学仪器,如样品的探针可以聚焦在光学光光束定位系统。所述光束聚焦,独立地相对于彼此定位。
 
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