| 干涉仪用于测量探针显微镜的扫描器的线性位移 |
| RU2015119623 2015-5-25 发明授权 |
| 2016-6-20 |
| 领域 : 测量设备。物质 : 本发明用于测量三个相互正交轴的直线位移。干涉仪具有单频激光，准直器辐射输入到运输纤维，准直器，输送辐射的光路，声光调制器，产生参考干涉仪的测量臂后，偏振分束器发散光束在距离足以在它们的独立使用反射镜，系统的反射镜，其位于压电台周围，三棱柱，安装在压电表以使它们对称轴线穿过旋转中心的压电台，光电检测器连接到合适的测量输入端，三相表，以及剪切频率发生器连接到声光调制器和相位表的基准输入端。效果 : 降低光学系统的尺寸，降低了自噪声，由于减小了空气的折射率的值的振动，降低阿贝error.1Cl，1的DWG |
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