| 电子显微镜和样品的检查方法，使用电子显微镜 |
| WOAT15050309 2015-12-9 发明申请 |
| 2016-6-16 |
| 本发明涉及一种电子显微镜(1)包括电子源(2)，用于产生电子束(3)，电子柱(4)，通过该电子束(3)撞击样品(7)安装在样品台(6)在样品室(5)，至少一个限压孔(8)，设置在端侧在电子柱(4)，和检测器(9)，用于检测低能量电子(10)产生从样品(7)。根据本发明，电子柱(4)具有清晰的直径(11)沿纵向轴线(X)是恒定或逐渐变细，向样品室(5)，其设计成可相对于样品台(6)和独立的检测器(9)，使得所述样品(7)可以检查在大气压力下和/或在室温下。本发明还涉及一种使用这种电子的显微镜(1)。本发明还涉及一种用于检查样品的方法(7)使用电子显微镜(1)，其中电子束(3)产生的电子源(2)，被引导通过电子柱(4)和至少一个限压孔(8)到样品(7)设置在样品台(6)在样品室(5)，从低能量电子的产生和检测的检测器(9)。 |
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