| 白光干涉显微镜和操作方法一种白光干涉显微镜 |
| DE102014118151 2014-12-8 发明申请 |
| 2016-6-9 |
| 本发明涉及一种白光干涉显微镜，用于确定待测物体的表面形貌(1)，有白光光源(13)照明的被测物(1)，所述的被测物体(1)和子光束反射的白光光源还(13)出站和在参考反射镜(19)反射的部分光束在图像传感器(23)重叠，和单色光源(24)，所述从单色光源(24)和被测物的出站(1)反射的部分光束，还从单色光源(24)和在基准镜出站(19)反射的部分光束在光电传感器(26)重叠。它各自的从被测物体之间的延迟(1)和由参考反射镜(19)反射的部分横梁在两个光源基本相同的尺寸。白光干涉显微镜上还至少最佳的调节装置的方法份白光干涉显微镜和/或改变的测量物体的长度所测量的物体(1)，因此能用于上反射的部分光束的变化[…]，特征在于一种白光干涉显微镜是 : 驱动装置(20)，用于移动参照镜(19)沿其光轴设置，从而也为变化所述[…]。本发明涉及一种用于操作这种方法白光干涉显微镜。 |
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