| 透射电镜,和领域中使用的限位板限制,图像采集方法 |
| JP2014242509 2014-11-28 发明申请 |
| 2016-6-2 |
| 要解决的问题 : 相位分布,可以获得在较高的速度提供一种透射电显微镜。 方法 : 透射电镜1,电子束100样品中的20和电子束照射单元(10),电子束100的二维强度分布和检测装置50,设置。透射电显微镜1还,电子束照射装置(10)之间设置检测装置50,节流孔41形成在具有旋转对称的形状具有有限的场地挡板40。节流孔41度的旋转对称性,n是3或多个,最小程度。选择绘制 : 图。1 |