| 扫描电子显微镜和电子轨迹调整方法 |
| WOJP14081222 2014-11-26 发明申请 |
| 2016-6-2 |
| 为了提供一种扫描电子显微镜具有电子色散系统，其将高空间分辨力，高的二次电子检测率的条件下，其中一次电子能量低，本发明的扫描电子显微镜的物镜(105)，一次电子加速装置(104)用于加速一次电子(102)，一次电子的减速装置(109)，由此一次电子减速，辐射到样品(106)，二次的电子反射器(103)，由此第二电子(110)从样品反射离开光轴的一次电子，分散器(111)用于分散的次级电子，和控制单元(116)，用于控制所述电压施加到物镜，一次电子加速机构，和一次电子减速装置，使得次级电子的方式会聚于所述入口的分散剂。 |
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