| 扫描探针显微镜 |
| JP2014236215 2014-11-21 发明申请 |
| 2016-5-30 |
| 要解决的问题 : 1次的测量表面形状的其它中， 或磁电性能的性能可以得到在冲程以提供扫描探针显微镜。 方法 : 扫描探针显微镜是具有以下 : 样品3表面和相对位置的探针6的尖端， 连接二者和Z方向， 垂直于XY平面，所述3维运动机构1； 而尖端的探针6谐振的振动， 和样品3表面探针6的尖端之间作用， 和原子力， 磁性力和静态力和1的至少一个力测量的测力装置 (数据的处理部(31)； 样品3表面和尖端之间的距离的探头6移动时，在Z方向由 3维预定范围内变化测得的测力装置， 此后， 在XY平面内通过改变相同的位置测量， 通过重复上述操作， 所述至少一个力2的3维数据， 数据获取装置获取一定体积的数据(数据处理部(31)体积。选择的绘图 : 图2 |
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