| 扫描探针显微镜 |
| JP2014237278 2014-11-25 发明申请 |
| 2016-5-30 |
| 要解决的问题 : 悬臂振动的压电元件和激励信号的频率和输出相位可自动 设定以提供扫描探针显微镜。溶液 : L为液体容器33设置， 液体L，在试样底座32和试样S被设置， 和液L在样品的表面S放置在相对的位置， 探头21a和悬臂21具有在自由端， 所述悬臂的自由端(21)检测位移， 和位移传感器(31)输出的信号， 以激发悬臂21， 安装在悬臂(21)和压电元件(22)， 激励信号输出到压电元件22， 样品S的表面和控制部(41)上设置有扫描式探针显微镜1， 测量悬臂的振动频谱21具有频谱分析仪50， 控制单元41， 基于热振动谱，并输出激励信号到压电元件22。 选择的绘图 : 图。 1 |
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