| 照明装置和激光显微镜 |
| JP2014239351 2014-11-26 发明申请 |
| 2016-5-30 |
| 要解决的问题 : 高亮度的照明光束的照明装置可以扫描样品表面以高的速度。 方法 : 本发明的照明装置， 和激光光源(1)， 所发射的激光束从激光光源和垂直于光轴第一的光学元件 1(3)和在声的方向， 光学元件1的发射的激光束从第一线激光束的方向延伸 和圆柱形透镜系统(4)。 圆柱形透镜系统与发射的激光束从线性振动的速度在纵向方向， 线激光散斑图案变为高速， 由于光束被发射，所述光接收元件集成与散斑去除图像。 衍射光栅(10)的圆柱形透镜系统提供后台， 还在纵向方向的入射角度照明光以实现各种照明装置。 选择的绘图 : 图。 3 |
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