| 所述样品架和通过透射电子显微镜观察方法 |
| JP2014234771 2014-11-19 发明申请 |
| 2016-5-30 |
| 要解决的问题 : 在制造过程中TEM和FIB的样品的观察可以使用普遍， 其具有足够的刚度， 和， 防止样品氧化， 和样品架用于透射电镜观察透射电显微镜。溶液 : 会聚的离子束处理装置和透射电子显微镜样品架和普通中， 样品架的圆柱形外壳体， 分别形成在相互对置的部分区域， 离子束或电子束从任一第一和第二的开口部分1和2 入射， 外壳1和第二之间的空间2中设置一第一， 轴向方向的旋转轴线方向到样品架转动作为样品和样品支架部分， 离子束照射电子束，不用时， 以切断从外部空间的空气第一1和第二2和阻塞 元件用来关闭开口部分的气氛， 设置，其特征在于，提供一种样品架。选择的绘图 : 图。 1 |
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