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用扫描探针显微镜表征结构尺寸

US11427351 2006-6-29 发明授权

2016-5-24

一种方法，包括使用扫描探针显微镜(SPM)或轮廓术中的一种来表征具有小于约100纳米(nm)的尺寸的半导体器件上的结构的尺寸。