| 显微镜具有低失真误差 |
| WOEP15076338 2015-11-11 发明申请 |
| 2016-5-19 |
| 光束偏转单元在光扫描显微镜的通常布置在共轭的平面上的物镜瞳孔。 该扫描光学单元， 其需要以产生偶联物瞳面， 为配合物和低效的， 由于扫描光学单元必须补偿不同的成像错误，诸如场曲和横向色差。 本发明所解决的问题是使图像质量较高， 简单调整，和较低的损耗的光。 这个问题的解决在于所述光学系统包括凹面反射镜(36)的成像点第一 光束偏转单元(30a)和各点的第二光束偏转单元(30b)彼此， 所述凹面反射镜(36)和第一光束偏转单元(30a)和第二光束偏转单元(30b) 设置在所述照明光束路径的方式正好一次反射在凹面反射镜(36)和 一种第一引起的失真的凹面反射镜(36)反射的照明光束路径时在凹面反射镜 和第二图像造成的失真第一和第二光束偏转单元(30a， 30b)至少部分地相互补偿。 |
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