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计量的扫描探针显微镜

WOUS15060275 2015-11-12 发明申请

2016-5-12

本发明涉及一种计量扫描探针显微镜系统结合SPM采用光杠杆装置测量位移的探头间接与另一SPM探头直接测量的位移通过使用在一干涉式检测方案。