| 扫描探针显微镜. |
| JP2014200542 2014-9-30 发明申请 |
| 2016-5-9 |
| 所要解决的问题 : 在不增加体积的前提下提高检测灵敏度的扫描探针显微镜. 方案 : 由透明材料. 反射的光由悬臂(21). 22悬臂(21). 22在扫描方向离开棱镜(41)的表面. 41，B等元素. 棱镜41的. 41内部反射的反射光的光路B设置在终端位置. 反射光和发光二极管检测器42检测的. 42B. 一种光电二极管检测器42. (42)根据检测出的频率或振幅的反射光. 控制部(43)检测到操作的悬臂. 还. 棱镜(41)的. 41B. 和Ar的表面的至少一部分表面上形成的涂层. 至少一部分的电介质多层膜表面形成涂层. 此外，. 所述AR涂层反射的光被引入. 该涂层介质多层反射膜. 所述二极管检波器的反射光42的. 42)引入. 选择附图中 : 图. 1. |
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