| 扫描电镜观察的图像系统. |
| JP2014203302 2014-10-1 发明申请 |
| 2016-5-9 |
| 所要解决的问题 : 利用扫描电子显微镜生物样品可以观察到·高分辨率和高对比度. 方案 : 本发明中使用的扫描电子显微镜图像的扫描电镜观察标本架系统. 其中 : 观测样品中的一个主夹持表面的绝缘薄膜(203)的另一主表面上的绝缘薄膜(203)和一个导电薄膜,膜(201)和设置. 在所述绝缘薄膜(203)的一个主面. 导电薄膜(201)从侧面的入射引起的电子束52的一个主表面上的绝缘薄膜(201)基于检测所述的电位信号. 信号检测部(210)上设置. 在另一方面,. 本发明中使用的扫描电子显微镜图像的扫描电镜观测系统级20. 该样品架(10)检测到的信号检测部(210)设置在所述检测信号,根据所测的输出信号进行放大处理的电路部分(在本放大器(21)对置于其内的情况下,. 选择附图中 : 图. 2. |