| 形貌信号和选择信号采集装置，方法和原子力显微镜具有相同 |
| KR1020140145318 2014-10-24 发明申请 |
| 2016-5-9 |
| 本发明是指各点的每挡. 它是在地形时信号，以及任选地得到的信号，信号通过获取的地形的图像信号，以及任选地预测信号采集方法. 原子力显微镜和装置，涉及. 根据本发明的一个实施例的测量物体表面形貌的信号，以及任选地信号采集方法. 使用悬臂尖端相对于所述感兴趣表面的形貌信号(地形信号)和任选的(选项信号)信号的获取方法. 所述的方法，. 所述测量钞票停止在预定位置或厚度变化进行测量的基础上，所述悬臂的信号点的形貌. 形貌信号采集的步骤. 所述信号采集后测量物体形貌在所述悬臂与所述Z方向上降低. 升降阶梯. 后的所述信号选择. 选择信号获取步骤，. 且所述测定目标与所述XY接触悬臂第二的至少一个存储器. 转移步骤，. 包括 : . 所述的外形；信号采集的步骤. 所述升降阶梯. 所述选择信号的采集. 所述转移步骤的至少1上. |
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