| 一种扫描电镜 |
| CN201520988177.7 2015-12-2 实用新型 |
| 2016-5-4 |
| 本实用新型公开了一种扫描电镜，包括：系统舱，与所述系统舱密封连接的气闸，所述气闸内设有用于承载测试样品的载台，所述气闸内设有溅射靶，所述溅射靶朝向所述载台，所述溅射靶与所述载台之间不贴合。正是由于本实用新型中的扫描电镜在其气闸内设有溅射靶，由于扫描电镜和离子溅射仪均工作在真空环境，那么，只需在扫描电镜的气闸内进行抽真空，从而达到溅射靶可工作的真空环境，完成离子溅射过程，并在此基础上，调整气闸的真空度，使得真空度达到扫描电镜的真空环境，可见，通过该溅射靶，可直接在气闸内完成离子溅射的过程，并且，可以在扫描电镜的气闸内完成抽真空操作，有效提升了测试的便捷性及效率。 |
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