| 一种在蔡司EVO60扫描电镜上用于叶片检测的装置 |
| CN201521045887.2 2015-12-15 实用新型 |
| 2016-5-4 |
| 本实用新型提供了一种在蔡司EVO60扫描电镜上用于叶片检测的装置，包括凹槽夹具、宽度垫片、高度垫片；所述凹槽夹具是截面为U形的条状块，凹槽夹具的两侧垂直板上设置有多个定位螺孔；所述凹槽夹具内底部水平放置有高度垫片，垂直放置有宽度垫片；所述宽度垫片、高度垫片和凹槽夹具长度相同，宽度垫片、高度垫片的厚度小于凹槽夹具任意一块板的厚度。本实用新型能有效实现对叶片的无损伤检测，避免对叶片进行切割，从而避免对伪缺陷叶片造成损伤，由此降低生产制造成本；便于操作，工作效率高，检测质量好。 |
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