| 扫描探针显微镜 |
| JP2014194987 2014-9-25 发明申请 |
| 2016-4-28 |
| 要解决的问题 : 的探针式的位移相对于扫描探针显微镜，探头在抑制质量增加，所述探头可拆卸地固定到扫描器。方法 : XYZ扫描器，至少Z扫描仪21的侧面上设有在扫描探针显微镜的探针，上基部(11)，弹性变形构件用于固定探头70直接或间接固定。该部件用于固定探头70，弹性变形，在以下所述Z扫描器21的位移通过探头40的返回力压靠在底座的Z扫描器21。因此，扫描仪的质量为Z，同时抑制负载的增加，和移除探针。选择的绘图 : 图。1 |
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