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扫描电子显微镜
WOJP14077811 2014-10-20 发明申请
2016-4-28
本发明的目的是能够以获取高分辨率图像在扫描电子显微镜使用冷阴极的组合(CFE)电子源和升压的过程中,即使在低加速电压提高CFE电子源的电流的稳定性。配置在该CFE电子源(101),阳极电极(103)在正(+)电位,和绝缘体(104),用于隔离所述正极电极(103)从地电位的容纳在单一真空室(105),和离子泵(106)和非蒸散型吸气剂(neg)泵(107)连接到真空室(105),采用。
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