| 扫描探针显微镜 |
| WOJP14078310 2014-10-24 发明申请 |
| 2016-4-28 |
| 为了提供一种扫描探针显微镜可消除振动噪声的影响和获取，精确地且以高分辨率，试样S的表面信息，该扫描探针显微镜1包括 : 主体单元10具有悬臂21具有探针21a，传感器23，用于检测位移的悬臂21，XYZ驱动机构25用于移动悬臂21或试样S，和振动隔离机构12；和控制单元30，用于控制XYZ驱动机构25，以获取被测区域的表面信息样品S的扫描探针显微镜1还包括 : 无线台(60)具有供电线圈63和支架侧发送/接收部分64；和电源信号电缆42连接无线台60和控制单元30。所述主体单元(10)具有 : 高电压产生电路15，用于驱动所述XYZ驱动机构25；电力接收线圈13；和主体单元侧发送/接收部分14，用于将与所述支架侧发送/接收部分64。 |
微信公众号