要解决的问题 : 提供了一种随动式的扫描检测到的光机构因惯性振动噪声降低时产生的力进行XY扫描.

溶液 : 扫描机构10包括 : 固定框架(11). X-Y载物台13具有XY移动部分14可在XY方向移动. 和压电元件(12A和12B)构成XY致动器可动部(14)在XY扫描所述XY方向. 所述扫描机构10还包括 : 一XY压电元件21被支撑可动部14. 保持架(22)保持在所述压电元件21. 支架(22)和悬臂(23)保持. 所述压电元件(21)，Z致动器悬臂(23)在Z方向扫描. 所述扫描机构10还具有一集光部(25)保持在所述XY移动部14. 所述光收集部分(25)的悬臂位移检测光23进入所述悬臂(23). 所述压电元件21和光收集部分25设置，以X-Y平面上投影时的对准.