特殊孔径板带电粒子显微镜
 
US14884520  2015-10-15  发明申请

2016-4-21
 
  一种带电粒子显微镜,包括 : 样品保持器,用于保持样品;光源,用于产生带电粒子束;照明器,用于引导所述束以照射所述样品; 照明器包括 : 孔板,其包括在所述光束的路径中的孔区域,用于在所述光束撞击所述样品之前限定所述光束的几何形状。 孔径区域包括多个孔的分布,每个孔的直径小于入射到孔径板上的光束的直径。
 
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