| 传动中进行光谱的方法的带电粒子显微镜 |
| EP15183309 2015-9-1 发明申请 |
| 2016-3-9 |
| 一种方法进行光谱在传输带电粒子显微镜，包括 : 一个标本架，用于装标本； -源，用于产生一束带电粒子； -发光器，用于将所述光束以照射样品中； -成像系统， 用于引导带电粒子的通量传输通过样品在光谱设备包括分散装置 分散所述通转换为能量分辨的阵列频谱的子光束， 该方法包括以下步骤 : 利用可调孔径装置允许第一部分所述阵列探测器， 同时防止在第二部分所述阵列； 提供一种辐射传感器，在所述磁通量上游的所述光圈装置； 采用所述传感器进行局部辐射感测所述第二部分的所选区域中的阵列， 同时检测所述第一部分由所述检测器； 使用来自所述传感器的感测结果来调整来自所述检测器的检测结果。 |
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